该结构为一个MEMS静电吸附的驱动器,中间为悬臂梁,左端固定,悬臂梁通电40V,上基板为铜材,需要模拟出悬臂被吸上上基板,变平直的过程,同时需要计算悬臂和上基板的静电吸力和悬臂沿着X方向移动的位移;初步模型已建立,考虑了空气层为动网格,但增大电压后计算会报错;希望有相关研究方向的帮忙解决,多谢!