CLABSO应用之：Stocker区域FFU更换情况下的CFD气流组织模拟
所谓Stocker，即指洁净自动化仓储设备。
是半导体自动物料传输系统（AMHS）的重要组成之一，用于半导体产线内产品的自动存储和搬运。具有高存储率和高入料节拍特点，稳定性强，空间利用率高。
图片来源于成川科技
在Clean Stocker设备中，FFU一般安装在顶部或侧面，以便将洁净空气均匀地送入设备内部备内部。FFU与气流有密切的关系，它的主要作用是过风和产生的正向气流将洁净空气送入设备内部，并保持恒定的空气速流，这种正向气流可以有效的防止外部污染物进入设备内部，同对过滤器对空气进行净化处理。在Stocter运行过程中，FFU的维修和部件更换是不可避免的。在FFU维护过程中，整体气流是否会收到影响，这个问题需要重视。
采用计算流体力学(CFD)仿真技术可直观分析Stocker更换FFU后对洁净室整体气流组织的影响。
在Stocker运营过程中，FFU的维修和部件更换是不可避免的。在FFU维护过程中，如果要更换一个FFU，对洁净室内的气流会产生什么影响？
通过CLABSO软件进行气流组织模拟可以完成更换过程的风险评估。
Stocker模型，洁净室高度3.5m，宽3m，长6m。
图1缺失的FFU气流形态图
纵向的影响了附近侧面各2个，总体5个FFU位置的气流形态。
图2缺失的FFU气流形态图
横向的影响了附近侧面各1个，总体3个FFU位置的气流形态。但是由于离回风道比较近，影响较小。
图3更换FFU的气流影响图
1、只有吹向更换FFU的气流，无气流吹向侧面空间。
2、更换过程操作适当，不会影响隔壁FFU下方产品。
图4无高架地板图 侧面较狭窄可做参考
气流影响高度约为1.2m，横向宽度约为1.6m。
Stocker在运营过程中，如果因为一些原因，拿掉一个FFU之后，对FFU附近其他区域不会造成吹向其他区域的粉尘污染。
1、顶部技术层的气流不会吹向洁净室内。
2、FFU下方气流会吹向缺失的FFU。
3、影响范围大约在2-5个FFU范围。大约1.2x1.6m的空间。
