5G先进BAW滤波器技术白 皮 书

随着5G的发展，对射频滤波器的需求越来越大，尤其在手持终端，比如智能手机上有超过50个射频滤波器。这些滤波器绝大多数采用声波滤波器技术，其中以SAW滤波器和BAW滤波器为主。我们在之前的文章对声波滤波器有过详细的基础知识介绍。

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今天我们一起来学习下QORVO的这篇关于BAW滤波器的白 皮 书。

白 皮 书首先介绍了5G滤波器所面临的设计挑战：频率更高，带宽更宽，插损更小，抑制更陡，体积更小等等。

而BAW滤波器技术刚好能克服这些挑战，白 皮 书接着介绍了BAW滤波器技术的主要特点。

BAW谐振器的基本结构是一篇超薄的压电陶瓷夹在两个薄金属电极之间，电压或者电流作用在金属电极上时会形成声波振荡，进而在金属电极之间构成一个谐振腔，压电陶瓷膜的厚度和压电陶瓷材料的特性就决定了这个谐振腔的谐振频率。

这BAW谐振器中，压电陶瓷和金属电极被安装在Bragg上，并以硅作为基板。这个Bragg可以通过高低阻抗的变换来限制垂直方向的声波能量。谐振器的长度来限制横向声波的能量，并较小声波泄露和抑制其他模式。

因此，BAW滤波器的特性主要有压电陶瓷膜的厚度，材料特性，介电常数和金属电极膜来决定。通过优化薄膜沉积和离子铣削，获得了精确的厚度计量和电气测量。通过在顶层膜层，采用离子磨铣去除少量膜层可以获得更高的谐振频率。

白 皮 书介绍了BAW滤波器的常用拓扑结构。

并提供了BAW高频滤波器技术优势。

宽带BAW滤波器技术：

以及小型化技术和多功技术：

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