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中源视角|洁净室里的那些物理量

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洁净工程技术作为科学实验和生产活动的现代化标志之一,是以空气为载体来调节控制环境温度、湿度和气流速度等量的技术。

CFD模拟已成为现代洁净工程设计中的重要技术,它利用计算机以仿真的形式呈现洁净工程的工况运行。

洁净工程广泛应用于芯片、医学和生物工程等高端产品生产工艺中。

   
   
   

生物科技中洁净室典型布置

根据其用途,不同类别的工业洁净室, 依每立方米的颗粒的大小和数量划分成不同的污染等级。

主要任务是以过滤和通风等手段确保生产环境的高洁净度,控制环境污染物[如空气颗粒(灰尘)、气体蒸气、细菌等]在可接受范围以内。

通过CFD仿真,可以在计算机中预先模拟出工况运行情况及相关的物理量,诸如速度、压强、温度等。

   
   

洁净室设备布置图

   
   

洁净室水平截面速度云图

   
   

洁净室垂直截面速度云图

   
   

洁净室垂直速度云图

   
   

洁净室温度云图

   

通过不同截面的速度云图可以直观地看到速度的分布情况,可以预知颗粒在洁净室里的扩散和汇聚情况,辅助工程师优化设计以达到生产工艺洁净要求。进一步,根据获得的定量数据进行更精准的设计,可以极大地降低洁净系统的运营成本。

来源:中源广科CLABSO
芯片控制
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首次发布时间:2022-11-23
最近编辑:1年前
中源广科CLABSO
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