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【一级洁净室】暖通布置方案气流组织模拟优化报告

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【一级洁净室】

暖通布置方案气流组织模拟

优化报告

在当今高精密制造与前沿科研领域,一级洁净室的环境精准控制起着举足轻重的作用。本文聚焦于一级洁净室项目,运用先进的气流仿真软件 Clabso,对作业范围内的墙、FFU、EFU、高架地板等建模进行气流模拟分析,为客户提供优化设计建议,确保洁净室能够稳定达到严苛的一级洁净标准,满足其对超净环境的极高要求,保障关键工艺的顺利实施与产品质量的卓越稳定性。

01

作业说明

     

本次气流模拟对作业范围内的墙、FFU、EFU、高架地板等建模进行气流模拟分析,因管线对环境气流影响有限故暂不体现 。

02


技术方案与步骤

本项目基于业主提供的CAD图纸,对生产线内部进行气流分析,为获得准确的计算结果,采取的技术方案如下:

1



确定计算模型。根据计算需要和工程经验,对不参与气流计算的区域和对计算结果影响较小的结构进行去除或调整,确保获得高质量的离散网格。

2



确定合适的计算边界条件。计算边界条件主要包括FFU风速参数、高架地板参数这些设定必须符合实际,从而使计算结果接近真实状况。

3



需要重点关注包括;洁净室能否满足一级洁净室等级需要。

   

(模拟步骤图)


03


参考模型

本模拟基于客户给定模型进行,在2.0版本基础上,将EFU下侧封闭,回风层上端不布置FUU,回风层下端高架地板采用实心板,中心气流只能从底部侧边回流至EFU形成循环。

     

(原模型)

     

(修改后模型)

04


结果分析

     

(进料口剖面位置速度云图)


▶机械臂附近速度0.9m/s。

▶进料口速度2m/s。


     

(进料口剖面位置速度矢量图)


▶中心区域气流整体向下流动。

▶上下区域都密封后,进料口处于排风状态。外界的污染无法影响1级内部。


     

H=2m


▶整体气流较为均匀。

   

H=1.2m


▶部分气流会从出料口排出。整体气流下沉。


   


▶整体气流较好。并无发现涡流区域。

05


结论

1

整体封闭以后,气流较为均匀。

2

中心机械臂区域速度0.9m/s,料口向外界排风速度2m/s。整个1级

区域内气流下沉,外界无法影响1级内部。

来源:中源广科CLABSO
半导体暖通控制
著作权归作者所有,欢迎分享,未经许可,不得转载
首次发布时间:2025-04-24
最近编辑:5小时前
中源广科CLABSO
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