基于comsol的非线性电阻式微传感器

本次模型是一款叉指电阻式微传感器。 传感器内部有一个空腔区域，上下分别为叉指电路和导电极板。

工作原理：1、叉指电路联通正负极，上部导电极板在压力作用下向下变形并接触叉指电路；

                 2、不断联通的过程中，整个叉指电路正负极输出的电阻值出现变化，感应到接触的发生；

                3、通过算法，将阻值的变化转化为压力值，完成对压力的感应。

以下是传感器剖面图，展示了传感器在压力作用下上极板的变形和应力分布。

以下是由于上极板接触叉指电路后，引起的电势变化。可以看到被联通的叉指越来越多。

以下是传感器空腔的上下面接触压力变化。

有兴趣的可以加我，交流模型。