氦质谱仪泄漏检测技术
摘要
本文介绍了三种氦质谱仪检测承压部件泄露的技术：吸枪技术、示踪探头技术和护罩技术。吸枪技术通过扫查被检部位，利用吸枪吸入氦气至检漏仪，半定量检测泄露位置；示踪探头技术则是用喷枪对工件喷吹氦气，检测泄露并定位；护罩技术则是一种定量测量方法，通过测量氦气泄露量确定泄露位置和泄漏量。其中，护罩法灵敏度最高，但受多种因素影响，制造难度较大。
正文
氦质谱仪泄漏检测——吸枪技术、示踪探头技术、护罩技术
吸枪技术：是使用氦质谱仪检测承压部件泄露微量示踪氦气的方法，能探测到一个密封体极小漏孔泄露的氦气流，或者混合气中的氦气。所有需检查部位应用吸枪扫查，吸枪用波纹管或软管与仪器相连接。此检测方法是一种半定量的方法，用以检测泄露并确定位置，不能作为定量分析方法。
被检容器内部充入高于一个大气压的氦气，当容器壁上存在漏孔时，氦气通过漏孔向外逸出。特制吸枪与检漏仪相连。用吸枪在被检容器外面进行扫描探查，当吸枪正对漏孔位置时，氦气随同周围空气一起被吸枪吸入到检漏仪的质谱室里，观察输出仪表读数变化的大小，判定漏孔大小。示踪探头技术（喷枪法）：是使用氦质谱仪检测抽空工件中的微量示踪氦气泄露方法。示踪探头与100%氦气源连接，在另一端使用一个细小开口的阀门。本检测方法是一种半定量的方法，用以检测泄露并确定位置，不能作为定量分析方法。
当被检容器抽到工艺要求的真空度后，打开检漏阀后，打开氦气瓶阀门，用喷枪对焊缝、法兰密封面等部位进行喷吹氦气，如果有漏，氦气通过漏孔进入被检容器内部并迅速进入检漏仪，由输出仪表指示出来。输出仪表读数变化的大小可以确定漏孔漏率大小，由喷枪喷吹的位置确定漏孔的位置。由于氦气比空气轻，喷吹检漏时，应该由上往下检。护罩技术（真空室法）：是使用氦质谱仪检测并测量抽空承压部件中的微量氦气泄露的方法。本检测方法是一种定量的测量方法，用以确定泄露位置并测量泄漏量。
被检容器抽到工艺要求的真空度后，在检容器外部充入高于一个大气压的氦气，保压半小时。然后打开检漏仪的检漏阀后，观察输出仪表读数变化的大小可以确定总的泄漏量。灵敏度最高是护罩法，水压后检漏难度大，残余水影响抽空，建议改为气压强度试验，由于抽真空受水、油、锈等影响，对真空洁净要求严格，若设计对此进行强制要求，会给制造带来极大的麻烦。
