Ansys Lumerical | 闪耀光栅

此示例说明如何计算闪耀光栅的光栅阶数。该光栅在每个波长处都有许多光栅阶数。为了捕获全反射和透射的特征，监视器中需要更多的频率点。

模拟设置

上面的仿真文件中显示了闪耀光栅。它由低折射率 （1.4） 基板和 40nm 厚的高折射率 （3.4） 涂层组成。光栅角度为30度。宽带平面波源入射角度为 15 度。我们将使用光栅阶数透射部分中描述的光栅阶次透射分析对象来测量反射和透射。

结果

打开 grating_blaze.fsp 并运行模拟。完成后，使用脚本 grating_blaze.lsf 计算光栅在固定波长处的反射和光栅阶数。请注意，我们使用了BFAST光源，因此宽带源以相同的入射角注入所有波长。

该图显示了光栅的折射率曲线。

第二张图显示了所有衍射阶数的反射作为波长从0.4um到0.7um的函数。从下图可以看出，在每个波长处，都有许多衍射阶数。为了获得平滑的反射曲线，需要比平时更多的频率点。在本例中，使用了 150 个频点。然而，可以看出，需要更多的频率点（例如 200 个）才能获得更平滑的结果。

第三张图显示了给定波长为0.5um时反射与角度的函数关系。如果您想在任何其他波长下获得此结果，只需修改脚本中的“target_wavelength”即可。