微流体技术是研究可以通过使用微小尺寸的微小通道(通常为几十到几百微米)来处理少量流体的技术。虽然这项技术还处于发展阶段,但是微流体技术正迅速成为一项突破性技术,可应用于生物学、化学、信息技术及光学等领域。
VirtualFlow案例-液滴碰撞
VirtualFlow案例-微流控芯片
VirtualFlow案例-浸没式光刻液膜
光刻扫描是在芯片制造过程中的关键一步。在芯片制造中使用浸没式光刻技术,由于水可以提高分辨率,常使用液体透镜扫描仪,不过这是个微妙且快速的过程,伴随着诸多问题,例如:表面留下的水珠污染、液体透镜中的气泡问题、水的蒸发引起的冷点、两相流干扰等。
这是典型的微流体流动问题,需要使用界面追踪方法,并结合稳定接触角模型,考虑表面力的作用。采用VirtualFlow 能够较好地预测水膜的萃取机理,以下结果显示了不同静态接触角(90°、60°)的影响。
VirtualFlow案例-马兰戈尼效应