SYNOPSYS 光学设计软件课程二十四：带楔块误差的校验和图像误差的 AI 分析的公差实例
课程二十四：带楔块误差的校验和图像误差的 AI 分析的公差实例
本课程将介绍前面讨论的一些功能，并添加一些功能强大的新选项。在这里，我们将使用 BTOL 来计算八片式透镜的公差，然后查看通过校验单元格中的元件来补偿楔形误差的情况下的像质统计。最后，我们将在重新对焦镜头和校验元件之后，检查一组 100 个镜头的横向色差的统计数据，这些镜头受公差限制。
这是一个 MACro，它将创建公差预算：
FETCH X33 ! 拿出开始的镜头BTOL 90 ! 要求达到90%的置信度TPR ALL ! 所有的表面都与试验板相匹配。.EXACT ALL INDEX ! 假设收到所有熔体数据。EXACT ALL VNO ! 所以指数和色散的公差为零.TOL WAF .18 .32 .18 ! 要求在三个视场点上的这个波前方差.FOCUS REAL ! 聚焦轴上图像点ADJUST 14 TH 100 ! 厚度为14（最后一个空域）的情况下.PREP MC ! 准备好蒙特卡洛评估的输入数据.GO ! 开始BTOL.
在 SYNOPSYS™ 中打开名为 X33.RLE 的文件，我们使用 FETCH 命令将其取出。
运行此 MACro 时，BTO L公差已准备好并列在探测器上。现在我们需要使用 MC。调整 MACro由BTOL 准备，命名为 MCFILE.MAC。让我们看看它包含什么。我们输入 LM MCFILE 来加载 MACro：
PANTVY 14 THENDAANTM 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 .1 0.000M 0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 .1 0.000M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 -.1 0.000M -0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 -.1 0.000M 0.297888E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 .1 0 0.000M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .1 0 0.000M -0.297888E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 -.1 0 0.000M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.1 0 0.000M -0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 .64 0.000M 0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 .64 0.000M 0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 .64 0.000M 0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 .64 0.000M 0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 -.64 0.000M -0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 -.64 0.000M -0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 -.64 0.000M -0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 -.64 0.000M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 0. 0.000M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 0 0. 0.000M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 .1 0.000M 0.149917E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 .1 0.000M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 -.1 0.000M -0.149917E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 -.1 0.000M 0.149917E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 .1 0. 0.000M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 .1 0. 0.000M -0.149917E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 -.1 0 0.000M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 -.1 0 0.000ENDSYNOPSYS 10MC
根据要求，PANT 文件中的最后一个空气间隔是变化的，并且 AANT 文件定义了一个评价函数，如果调整能够恢复名义设计完全相同的光线模式，它将精确地收敛到零。现在我们需要准备我们的 MC MACro。（这是我们指定所需蒙特卡罗分析的文件，而上面显示的文件 MCFILE.MAC 指定了我们想要在每个案例上运行的调整。它们是单独的文件。）
首先，我们将使用随机楔形方向运行 MC。这是 MACro：
MC ITEMIZESAMP 1LIB 5!QUIET ! 这一点被注释掉了，用于测试WORST ALL 5WEDGES CLOCKTESTGO
在这里，我们不优化任何东西，只是准备一个单一的扰动示例，以便我们可以检查它。（元件现在都有楔形误差，因此 PAD 显示不能像以前那样为元件着色。）
好吧，让我们运行一组 100 个镜头并查看统计数据。首先我们 GET 5，然后注释掉 TEST 指令并更改样本编号。
MC ITEMIZESAMPLES 100 ! 要求提供一套100片的镜片.LIBRARY 5QUIETWORST ALL 1THSTAT UNIFORMWEDGES RANDOM!TESTGO
当 MC 完成时，我们将获得 MC PLOT 的统计图
我们继续操作，更改我们的 MACro 如下：
MC ITEMIZESAMPLES 100LIBRARY 5QUIETWORST ALL 1THSTAT UNIFORMWEDGES CLOCK ! 每种情况下的楔形误差时钟.TEST ! 再次做一个单一的测试案例.GO
现在，程序将使用 GROUP 而不是 RELATIVE 倾斜，使用不同的协议对元件倾斜进行建模。这释放了每个元件上的 gamma 倾斜，用于引起楔形误差。我们要测试一个例子，以便我们可以检查错误是如何定义的。执行此操作后，我们会查看扰动镜头的 ASY 列表：
从该列表中我们看到表面 1,5,7,9 和 12 已经被分配了组倾斜。除了表面 1 上的 gamma 倾斜之外，我们将改变所有这些，这提供了参考方向。
好的，我们需要修改我们的文件 MCFILE.MAC，添加 gamma 倾斜变量。我们也选择在进行更复杂的优化时进行。然后我们保存新的 MACro，以便 MC 能够打开它并查看更改。它看起来像这样：
PANTVY 14 TH 10000 .01VY 5 GPGVY 7 GPGVY 9 GPGVY 12 GPGENDAANTM 0 1 A P YAM 0 1 A P XAGSR .5 10 5 M 0 0 0 FGNR .5 2 3 M .7 0 0 FGNR .5 1 3 M 1 0 0 FGNR .5 2 3 M -.7 0 0 FGNR .5 1 3 M -1 0 0 FENDSYNOPSYS 10MC
当我们运行它时，我们得到改进的统计数据,在命令窗口输入 MC PLOT
该课程几乎已经完成 - 但是假设这个镜头必须用于能很好地控制横向色差的设备中。我们想知道每种情况优化后产生的像差的统计数据。我们在文件 MCFILE.MAC 中添加了一些AI输入，现在读取如下：
PANTVY 14 THVY 5 GPGVY 7 GPGVY 9 GPGVY 12 GPGENDAANTM 0 1 A P YAM 0 1 A P XAGSR .5 10 5 M 0 0 0 FGNR .5 2 3 M .7 0 0 FGNR .5 1 3 M 1 0 0 FGNR .5 2 3 M -.7 0 0 FGNR .5 1 3 M -1 0 0 FENDSYNOPSYS 10Z1 = XA IN COLOR 1 ! 获取元件1的主光线的实际X坐标.RMS 1 0 555 ! 运行RMS命令，它也能找到中心点.Z2 = FILE 4 ! 这是X中心点的位置，相对于主光线而言,Z3 = FILE 5 ! 这是Y中心点的位置，相对于主光线而言.Z4 = YA IN COLOR 1 ! 同时得到实际的Y坐标.Z5 = XA IN COLOR 3 ! 在元件3中做同样的事情.RMS 3 0 555Z6 = FILE 4Z7 = FILE 5Z8 = YA IN COLOR 3= SQRT((Z1 + Z2 - Z5 - Z6)**2 + (Z3 + Z4 - Z7 - Z8)**2) ! 分离.Z9 = FILE 1 ! 将其加载到变量Z9中，并告诉MCMC IZ9 "RedCen-BlueCen" ! 收集统计资料，并绘制带有此标签的Z.MC
现在，当我们运行 MACro 时，MC 将横向色差的统计数据添加到第二个绘图页面，该页面还显示调整统计数据。
这是一个高级的课程，它展示了 SYNOPSYS™ 中的一些不寻常的功能。
