问题 17:
有一张数据图,内容是描述非球面镜的曲率变化,其中直线代表球面镜的曲率,起伏的曲线代表非球面镜的曲率,X轴代表径向座标,Y轴代表曲率半径,如何根据这张图在ZEMAX中建构出非球面镜?
解答:
列出解的步骤供您参考:
将标准球面的参考基准线向下移到非球面波形的谷点,这是为了以球面中心为0点时,来做出非球面的曲率,所以大约取出三个点的相对差值方便后来的解过程,分别为0.08333um、0.25 um、0.5 um (可以自行做修正 )。以下列出会使用到的方程式并提供求值的过程供您参考:
Co = 1/ R0 ~ 0.600081611 ( =1/1.66644 )
C1 = 1/ ( R1+ DeltaR1) ~ 0.600051605
C2 = 1/ ( R2 + DeltaR2 ) ~ 0.5999916
C3 = 1/ ( R3 + DeltaR3 ) ~ 0.599901616
Z0 = C ( r ) ^2 / ( 1 + (1- (C r ) ^ 2 ) ^ 1/2 ) ~ 0.131307,0.072529,0.031838
(分别带r1, r2, r3 和 C1, C2, C3的值)
Z1 = C1 ( r1 ) ^2 / (1 + ( 1- (C1 r1) ^ 2 ) ^ 1/2 ) ~ 0.124561
Z2 = C2 ( r2 ) ^2 / (1 + ( 1- (C2 r2) ^ 2 ) ^ 1/2 ) ~ 0.062721
Z3 = C3 ( r3 ) ^2 / (1 + ( 1- (C3 r3) ^ 2 ) ^ 1/2 ) ~ 0.024393
将以上的值带入下式非球面方程式解联立,来求出非球面系数a2, a3, a4:
Z = Z0 + a2 r ^4 + a3 r ^6 + a4 r ^8
=> 0.124561 = 0.131307+ 0.176728 a1 +0.074295 a2 +0.031233 a3
0.062721= 0.072529 + 0.055918 a1 +0.013223 a2 +0.003127 a3
0.024393 = 0.031838 + 0.011045 a1+ 0.001161 a2 +0.000122 a3
=> a1 = -1.313709338,a2 = 7.102007212 ,a3 = -9.676316755.
把上面求出的解放到ZEMAX的Even Asphere中。
最后,我取出非球面的中间行Surface Sag值与标准球面的中间行Surface Sag值相减以Excel绘图,可得Sag的曲线,大致可看出其与曲率的曲线相似,只需再做转换即可。
您会发现,这里只取非球面系数的其中三项解,您也可以自行增加其它系数项来解,但是要注意的一点,"三个变数要以三个方程式来解联立方能解",建议您可以使用Excel或其它数学工具来辅助解。