CFD|腔内气流和晶圆温度变化

概述

模型几何形状

边界条件和湍流模型：

结果查看：

1.晶圆温度变化

-计算40秒内各晶圆温度变化

晶圆温度变化（详细）

2.晶圆A流体变化

3.晶圆B流体变化

总结

• 晶圆温度场变化

-通过各晶片的温度变化结果，可以根据入口位置评估冷却性能

-40秒内计算各晶圆温度变化

  晶圆A的位置高于晶圆B，并且更靠近入口，处于有利于冷却的位置

• 晶圆周边流场变化

-通过各晶圆周围气流变化结果可以预测拥堵和暖流区间

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