NFX|腔体结构耐热性设计

结构分析

对输送设备运行中振动的分析评价

瞬态位移/最大应力分析

流体分析

流体流动及流热和颗粒物分析

温度分布/颗粒运动

结果注意事项

选择分析类型

在达到热平衡状态下，可以得到结构的温度等热传递结果

NFX支持3种传热方式，热传导/热对流/热辐射

接触关系下，构件间的热传递阻力

4.定义热传递分析

从Heater Block传递到Chamber Body

接触Contact

定义构件间导热接触条件

5.定义冷却条件

6. 结果分析

Chamber body

原始

修改方案 2

Chamber Body材料变更

CVD 腔体内热传递过程

原始

案例说明

了解需要执行热传递分析的情况，并利用分析软件

热传递过程

可以作为对热量传递的三种方式的理解和设计变量

评估和设计

利用热传递分析结果找到满足设计人员要求的最佳设计方案非常重要

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