第48课：从初始结构开始设计的微光刻透镜
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。
镜片数22片
物高31mm
物方数值孔径NA 0.2
波长为UV
像方晶圆尺寸是12.66mm
总长小于1200mm
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。
首先，我们将使用DSEARCH为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下：
返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。
使用命令为：
现在激活ACON 2，我们使用DSEARCH来设计右半边的镜片组，输入命令如下：
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：
现在把这两部分合并起来。再次激活ACON 1，并输入：
现在它们被合并成了一个镜头。
现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
我们有了一个非常好的微光刻镜头。
很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。
相关文章可在仿真秀搜索：
SYNOPSYS 光学设计软件课程一: 输入透镜文件
SYNOPSYS 光学设计软件课程二: 消色差透镜
SYNOPSYS 光学设计软件课程三: PSD优化算法
SYNOPSYS 光学设计软件课程四: 业余望远镜
SYNOPSYS 光学设计软件课程五: 改进另一个程序设计的透镜
SYNOPSYS 光学设计软件课程六: 三阶像差的重要性
SYNOPSYS 光学设计软件课程七：渐晕的输入与输出
SYNOPSYS 光学设计软件课程八：复消色差
SYNOPSYS 光学设计软件课程九：复消色差接物镜的公差计算
SYNOPSYS 光学设计软件课程十：近红外透镜案例
SYNOPSYS 光学设计软件课程十一：球形激光光束整形器
SYNOPSYS 光学设计软件课程十二：非球面激光光束整形器
SYNOPSYS 光学设计软件课程十三：带有Kinoform镜头的激光扩束器
SYNOPSYS 光学设计软件课程十四：更具挑战性的优化
SYNOPSYS 光学设计软件课程十五：开发一组实际透镜
SYNOPSYS 光学设计软件课程十六：实用的相机镜头
SYNOPSYS 光学设计软件课程十七：实际镜头的自动设计
SYNOPSYS 光学设计软件课程十八：什么是好光瞳？
SYNOPSYS 光学设计软件课程十九：DOE在现代镜头设计中的应用
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十：设计容易制造与加工的非球面
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十一：设计无热化镜头
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十二：使用SYNOPSYS软件中的玻璃模型
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十三：参数优化研究+光线追迹失败校正
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十四：带楔块误差的校验和图像误差的AI分析的公差实例
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十五：高级用户的提示和技巧
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十六：融会贯通
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十七：理解冷反射效应
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十八：了解人工智能
SYNOPSYS 光学设计软件课程二十九：注释编辑器
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十：理解高斯光束
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十一：超消色差
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十二：鬼像分析
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十三：将Zemax文件导入SYNOPSYS
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十四：90度目镜
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十五：无热化红外望远镜
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十六：边缘形状控制
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十七：自动查找和更改镜头结构
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十八：从零开始设计变焦镜头
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十九：设计自由曲面反射系统
SYNOPSYS 光学设计软件课程四十：从Scratch开始的非球面相机镜头
SYNOPSYS 光学设计软件课程四十一：设计一个超广角的镜头
SYNOPSYS 光学设计软件课程四十二：复杂的干涉仪
SYNOPSYS 光学设计软件课程四十三：电子表格还是工作表？
SYNOPSYS 光学设计软件课程四十四：为什么SYNOPSYS不使用坐标断点？
SYNOPSYS 光学设计软件课程四十五：使用人工智能特性进行参数化研究
第四十六课：一个激光二极管光束转换器
