中源广科CLABSO-洁净室的工作原理

以下内容摘录《洁净工程应用技术》

一、洁净技术所遵循的基本原则

洁净室要提供满足工艺过程要求的合格洁净环境，应从设计、建造、调试和运行管理各方面遵循如图1-2 所示的四个基本原则：

1．防止洁净室外的颗粒物直接侵入室内

主要采取以下技术措施：

1）洁净室内维持正压，防止洁净度比该洁净室低的周围空气携带颗粒物及其他污染物通过围护结构的缝隙和孔洞直接进入室内；

2．防止颗粒物在洁净室内堆积（积聚）

主要采取以下技术措施：

1）洁净室围护结构内表面不应或尽量减少突出物和沟缝，以免堆积尘埃；

2）室内的设备、管路、家具等应易于清扫；

3）设置真空清扫系统或真空扫除机，定期清扫。

3．防止室产生颗粒物

主要采取以下技术措施：

1）洁净室内的建筑装修材料、设备、家具、用具等应不产尘或尽可能少产尘；

2）室内人员应穿着合格的洁净服、遵循洁净室操作（动作）规程，以减少发尘；

3）提高工艺过程的机械化、自动化程度，这对高级别洁净室尤为重要。

4．迅速有效地排除进入室内和室内发生的颗粒物

主要采取以下技术措施：

1）用经过净化的洁净空气及时排除室内发尘，可以采用“稀释冲淡”或“活塞置换”的手段来排除室内的发尘。

2）用足够的风量保证必要的换气次数以及采用合理的气流组织来实现尘粒的排除，气流组织要考虑到室内工艺设备和发尘点的位置等实际情况。

3）对发尘量比较大的设备可以采用局部排风设施。

由此可知，这些基本原则的实施是要由规划、建筑、工艺、空气净化、设备材料以及运行管理等多方面共同配合才能的实现的。

二、洁净室的构成

图1-3 表示了洁净室的构成。从构成洁净室整体的硬件来说，有以下几部分：

1．洁净室围护结构

由土建材料现场构筑或工厂预制的构件构筑，它们包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外，为满足洁净要求的建筑和装修构造接点的设计和制作，也是重要的构成部分。

2．空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外，净化空调系统的显著特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用，末端高效过滤器安装的密封性也不可忽视。

3．附属设备

为保证洁净室的使用，应有合理的人物流路线和合格的人物净化设施，如空气吹淋、 传递窗等。此外，还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。