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中源广科CLABSO-洁净室的分类

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以下内容摘录《洁净工程应用技术》

洁净室的分类

1.按洁净室用途分

1)工业洁净室 以控制室内空气中悬浮粒子为主要目的的洁净室,如微电子、集成电路、精密仪器等生产用的洁净室。

2)生物洁净室 以控制室内空气中悬浮微生物粒子为主要目的的洁净室,如医院洁净手术部、生物医药制品等生产用的洁净室。

这两类洁净室的一般比较见表1-8。

     

2.按气流组织形式分

(1)单向流洁净室

洁净室内气流流线平行、流向单一,并且有均匀的断面风速。送出空气流像活塞一样将污染空气压出室内,使洁净室保持很高的洁净度,且抗污染能力强。

根据工程应用又可分为垂直单向流和水平单向流两种。垂直单向流(参见表1-9 中的示意图)可以提供最好的空气洁净度及控制污染能力,污染物在自上而下的洁净气流作用下迅速从地板排走,不易向周遍区域扩散,但造价和运行能耗都比较高,所以一般仅用于高洁净度要求的洁净室。水平单向流洁净室可以减少或取消上下技术夹层,所以造价可以降低,但上游的污染物会随气流向下游扩散。事实上水平单向流形式现在应用并不多。

(2)非单向流洁净室(又称乱流洁净室)

与普通空调送风方式类似采用装有一定级别过滤器的送风口向室内送风(通常为上送),回风口通常设在洁净室下部侧面(参见表1-9 中的示意图),通过送出的洁净空气来稀释室内的污染物,以保持室内必须的洁净度。这两种不同气流流型的主要区别见表1-9

     

(3)混合流洁净室

单向流与非单向流结合使用的洁净室,在局部洁净度要求高的区域采用单向流,其它区域采用非单向流,以确保工艺要求并降低造价和运行费用。

(4)矢流(对角流)洁净室

这是一种比较特殊的气流组织形式(图1-4),洁净气流从洁净室的上角送出,从洁净室对面的下角排出,它既不符合单向流对气流流线基本平行的要求,又不同于非单向流室内气流混合稀释的原理,但实际工程中应用不多。

     


3.按洁净室建造方式分

(1)土建式洁净室

与一般建筑一样,洁净室的土建和装修构筑均在现场进行,要求工程图纸详尽,但满足洁净室要求的材料构造节点往往不易实现。施工过程的工种配合要求高,工程周期长,效益欠佳。

(2)装配式洁净室

在土建结构完成的基础上,由专业承包商按工艺生产具有一定模数的隔断构件(如双层钢板,中间为保温材料的壁板和专用门窗等)进行现场装配。由于专业厂家的批量生产和用材、构造节点、工种配合方面的成熟经验,比土建式的施工周期大大缩短。工程投产快,又具有日后变动的灵活性,故效益较高。

现代洁净室实际上是上述两种建造方式的结合。

4.按空气洁净设备的布置方式分

(1)全室型洁净室

这种洁净室一般利用集中式净化空调系统,向全室送风,使整个房间获得相同的等级,类似与一般空调工程中的集中式空调系统(图1-5a )。

(2)局部型洁净室

利用局部净化装置, 在洁净室局部工艺有专门需要的地方提供洁净空气,使局部区域获得要求的洁净度(见图1-5b )。

(3)结合型洁净室

为降低造价和运行费用,用集中式净化空调系统使洁净室整体保证一定的洁净度,而在关键工艺区域采用局部洁净设施。现代洁净室大多采用这种形式,以经济灵活地满足各种使用要求(见图1-5c )。

      
来源:中源广科CLABSO
电路建筑电子材料控制
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首次发布时间:2022-11-21
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