空调净化系统送风方式说明

电子工业洁净室空调净化系统主要有以下形式：

1垂直单向流集中送风方式

2风机过滤单元送风方式

3隧道送风方式

4非单向流送风加层流罩送风方式

5微环境方式

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一、垂直单向流集中送风方式

集中送风方式就是将多台空调净化机组集中设置在空调机房内。空调机房也可位于洁净室侧面，也可位于洁净室的顶层。垂直单向流集中送风方式适用于大面积和洁净度级别高的洁净室。详见图1垂直单向流集中送风方式示意图

图1垂直单向流集中送风方式示意图

1-初级过滤器；2-中级过滤器；3-送风静压箱；4-高效过滤器

5-通风地板；6-回风静压箱；7-送风道；8-回风道

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二、风机过滤单元送风方式

将新风与回风的混合风由单元机组送到洁净室，再从回风静压室经两侧夹道回至送风静压箱与新风结合。这种送风方式不需要大的空调机房，送风静压箱内的空气处于被风机过滤单元的风机抽吸的状态，所有箱内呈负压，有利于防止过滤器边框的泄露。详见图2风机过滤单元送风方式示意图

图2风机过滤单元送风方式示意图

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三、隧道送风方式

隧道洁净室送风方式这种送风方式一般将洁净室划分为生产核心区和维护区，生产核心区要求高洁净度和严格的温湿度控制，设在单向流送风区内；维护区要求较低，设置在生产辅助设备或无洁净要求的生产设备的尾部或配管配线等。生产区为送风区，维护区为回风区，构成空气循环系统。一般隧道式送风是由多个空气循环系统组成，所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域生产环境的洁净度，并且各个循环系统可根据生产需要进行分区调控。隧道送风方式详见图3隧道送风方式示意图

图3隧道送风方式示意图

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四、非单向流送风加层流罩送风方式

将层流罩安在非单向流洁净室的局部，或形成一小区，或形成一条带,就建立了局部5级（ISO）环境。详见图4非单向流送风加层流罩送风方式示意图

图4非单向流送风加层流罩送风方式示意图

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五、微环境方式送风

微环境是在大空间中一块与污染源隔离开来的局部小区域。确保极为严格的半导体芯片生产环境或设备的微环境控制达到高洁净度等级，其周围的开放式大面积洁净环境仅保持在相对较差的洁净度等级。详见图5微环境方式送风示意图

图5微环境方式送风示意图