图1 洁净室模型
本文介绍一种带有层流罩的室内循环系统。层流罩是可以形成垂直单向流的净化设备,和封口机组不同的是它可以拼装;和可以拼装的FFU不同的是从顶棚内回风,而是从室内回风,层流罩可以带空气幕,也可以不带空气幕,一般均用于要求百级洁净度的地方。
工作原理:
洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后,形成均流层,使洁净空气呈垂直单向流,从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。
通过Clabso软件计算可以清晰的展示出工作状态。
我们从 3个方面展示层流罩的性能。
(1)整体气流结构
图2所示为截面A处的速度分布云图。空气从层流罩下来后进入到工作区,再通过高架地板进入到下技术夹层,并通过一根回风管道进入到层流罩上方。可以看到,在层流罩下方速度较高,局部区域洁净度等级较高。
图3所示为流线图。可以看到,流线在进入到下技术夹层后向回风道处偏折,流道面积急剧收缩,气流速度增加。
图2 截面A处速度分布云图
图3 流线图
(2)气流均匀度
我们可以计算气流偏移角来观察气流的垂直单向区域。
图4 气流偏移角
由图4可见,在出风面下方的位置气流整体的偏移角在20°以内。并且可以清晰的看到垂直单向流区域。
(3) 出口流量分布均匀度
出口流量分布均匀度可以通过通量计算出来,这里使用流线展示气流密度。
图5 出口流线图
图5,可以看出,在离风机近的地方气流很密,在远端气流比较稀疏,可以通过设置适当的导流板来均衡气流流量分布。