洁净室气流组织的设计要点

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1、防止过滤器泄露

如果过滤器漏泄，应使单向流气流组织的优点受到损坏，所以应力求避免。

2、确保室内送风气流均匀

提高过滤器的满布率，以减少边框盲区的影响。

3、提高送风速度的均匀性

造成送风速度不均匀的原因有过滤器和静压箱压力不均以及向静压箱送风的速度太大等。克服送风不均的主要措施有：

（1）严格选用高效过滤器，安装时应根据各台过滤器阻力大小进行合理调配，使送风面上各过滤器之间每台过滤器阻力和各台平均阻力小于5%。

（2）过滤器下方设阻尼层，甚至设不均匀阻尼层，加大静压箱高度，大于800mm更好。

（3）改集中管道给静压箱进风为分散管道进风。

（4）如果进风速度太大或只能单侧进风，则可在进风口附近的过滤器上安装可调挡板，也可增加静压箱内阻力，在出口不远处设多孔板。

4、提高回风口速度的均匀度

在送风管上采取的措施可以用到回风管上，如分散风管、设调节阀、在回风口安装阻尼布，把回风速度降到5m/s以下，调节地面开口比等等。

1、保持正压

（1）加压空气量

洁净室内加压空气量主要决定于渗漏风量，若以换气次数表示加压风量，可参考下表，在概算时，换气次数取2-3次。

（2）加压控制

加压程度要考虑围护结构强度，开门是否方便等因素，一般控制和邻室压差在5-20Pa(0.5-2 mmH₂O)范围内。

2、局部发尘的控制

非单向流洁净室内由于气流是乱流，粉尘可以扩散到任何地方，如果局部地点发尘而平均地影响全局，是很不好的，即使增加很多换气次数，效果也不明显。最好的办法是从局部气流组织的处理上着眼，对局部发尘设备加以围挡和进行局部排风。

3、风机压头选择

过去习惯按过剩的原则来选择风机压头，这并不合适，过滤器实际运行的风量都小于额定风量，若按过滤器阻力2倍选风机，使开始时风机压头富裕大多，风量和风速太大，如果把阀门关得太小，则又要产生很大的噪声，所以当系统阻力可以作比较细的计算时，粗效至高效过滤器的终阻力可按初阻力分别加50～120Pa来计算，如果系统阻力不便计算或为了估算也可以用2倍初阻力的习惯方法。

4、风机的选择

应选用高效率、低噪声的风机，重要的是工作点应选在风机性能曲线中倾斜度较大的部分，且此性能曲线也尽量选用陡斜的，而不选用平坦的，这样风压变化较大时风量变化较小，不致有大的影响。

总结以上两个设计要点，气流组织是洁净室设计时应考虑的一个重要方面，很多场合都需要使用CFD模拟软件进行气流模拟分析，借助软件将模拟结果可视化。