用公差操作数TEXI指定表面峰谷值公差

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用公差操作数TEXI指定表面峰谷值公差

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正文

公差操作数TEXI允许使用者用峰谷值的方式来指定透镜表面的不规则误差。

指定的公差单位是微米 (micron) 。

如果要用RMS的方式指定表面误差的话，请改用操作数TEZI。

下图的第二行是TEXI的范例。

Surf：面编号。本例中是第一个面。

Max#：Zernike Fringe的最高阶次。本例为16，最大可以设定到37。Max#越大，面的表面起伏越剧烈。

Min#：预设是2，使用TEXI时此项无法设为1。

Nominal：标称值，为0。

Min：输入表面起伏的峰谷值的负值。本例中表面起伏为1 微米，因此输入-1。

Max：输入表面起伏的峰谷值。本例为1。

以上面的设定来执行敏感度 (Sensitivity) 分析的话，当套用最小公差时，会出现如下图的不规则面。

从图右侧的色条来看，可以看出峰值是0.18 微米，谷值是-0.89 微米。峰谷值确实约为1 微米。

注：这个面是用Zernike Fringe完成的。

套用最大公差时，则结果如下图。

可以看到峰值大约是0.89 微米，而谷值大约是-0.18 微米，峰谷值确实大约是1 微米。

可看出Min与Max都是代表峰谷值，但是面的凹凸是反转的。

如果在Max# 栏位输入9，则最小公差的分析结果如下。

如下图可以看到表面的起伏比较平缓了。

峰值约为0.17 微米，谷值约为-0.67 微米，峰谷值比1稍微少一点。

如同看到的，TEXI中指定的峰谷值其实是大概值，无法完全指定。

如果把Max# 设为37然后储存文件的话，结果如下。

可以看到面的起伏变得更加剧烈。

峰值约为1.29微米，谷值约为-0.26 微米，PTV值稍微超过1 微米。

本文使用到SAVE指令来产生文件，以供查看公差分析套用后的表面形状。