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国产商用最多激光干涉仪:大连科德LM-20激光干涉仪(国产自主率最高)

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大连科德的激光头是全国产自主的,核心组件自主最高的国产激光干涉仪。。。目前在官网就看到这一款产品,有个专业的团队再做。不过目前干涉仪最强的英国RENISHAW雷尼绍XM-60/600多光束激光干涉仪,效率超高,对个人要求也低,极易学习和使用。希望大连科德也开发对标产品!!!

XM60小知识:

XM-60是一款激光测量系统,只需一次设定即可沿线性轴同时测量6个自由度的误差。它还是一款功能强大的诊断工具,通过一次采集即可测量轴的所有几何量误差。

对于执行空间补偿的用户,XM-60为他们获得所需数据组提供了一种快速精准的方法。  所有测量均为光学测量,可在任意方向执行。

轻型发射器通过光导纤维远离发热的激光源,从而减少测量点处的热影响。发射器可直接通过其侧面甚至后面安装到机器上或者上下倒置安装,非常适用于难以接近的机器区域。

接收器可进行完全无线操作,由充电电池供电,从而在机器移动中避免电缆拖拽,因为在测量过程中电缆拖拽可能会引起误差或激光束“断光”。

主要特性与优点:


快速 — 利用传统激光技术,一次安装即可同时测量线性、俯仰、扭摆、滚摆、水平方向和垂直方向直线度等六项误差。

简单 — 设定简单,让其他干涉仪系统使用者很快就能熟练使用。自动检测轴的正负方向和图形准直减少了人为误差。

可靠 — 直接测量所有误差,允许用户在测试过程中查看结果。

强大 — 独特的光学滚摆测量系统能够在任一方向执行滚摆测量。

LM系列激光干涉仪可进行位置精度检测,可检测数控机床定位精度、重复定位精度、反向间隙等相关几何误差参数指标;以及其他需要高精度几何误差测量及补偿的应用场合。

科德数控股份有限公司生产的KMC800S系列高精度五轴立式复合加工中心,利用LM系列激光干涉仪进行X轴测量,定位精度为3.2um,重复定位精度为1.9um,这一测量结果与使用国际知名厂商(雷尼绍XL80)所生产的激光干涉仪测量结果相吻合。

1.LM-20激光干涉仪介绍:

  LM-20激光干涉仪以氦氖激光器产生的激光波长为基础,应用高稳定度的激光稳频率技术,获得作为测量基准的高精度激光波长;同时使用高精度温度、大气压力、湿度传感器进行测量环境的补偿;并通过与外部光学镜组配合,实现高精度、可重复、可溯源的相关几何参数精度测量,是数控机床和坐标测量机等精密设备校准的理想工具。LM-20激光干涉仪延续GDLM-10激光干涉仪的高精度测量性能,同时优化了机械结构和使用性能。

2.测量的基本原理

(1)LM-20激光干涉仪的激光头发射出光波,经过分光镜后光波被分成两束;

(2)固定角锥反射镜和移动角锥反射镜分别将光波反射回分光镜;

(3)两列相干光波相遇叠加,在叠加区域某些点的光振动始终加强,某些点的光振动始终减弱,即在干涉区域内振动强度有稳定的空间分布;

(4)最终在光靶上形成了明暗相间的干涉条纹,当两束满足干涉条件的光路径发生相对变化时(即移动角锥反射镜时),其干涉条纹也将发生变化,利用特殊的计数装置对干涉条纹进行计数,就可以知道移动角锥反射镜的位置变化量,从而实现对线性位移进行测量的目的。

3. 产品优势

      高激光频率稳定度激光稳频标称精度±0.05ppm,实际计量结果 0.02ppm,为激光干涉仪测量提供高精度基准。中国计量科学研究院是中国最权威的计量检测机构,激光干涉的检定数据均来自于中国计量科学研究院。

      精密的环境参数测量能力环境温度测量标称精度±0.1℃,实际计量结果-0.02℃-+0.06℃;材料温度测量标称精度±0.1℃,实际计量结果+0.01℃-+0.06℃;大气压力测量标称精度±100Pa,实际计量结果+40-+66.7Pa;环境湿度测量精度±5%。为激光干涉仪的环境补偿算法提供精准的环境参数变化。

      高测量精度线性定位测量标称精度±0.5um/m(±0.5ppm),实际计量结果+0.08-+0.47um/m,高测量精度使激光干涉仪可以作为高精度的校准设备。

4.产品特点1

高测量速度;最高4m/s的测量速度,满足几乎所有的测量应用。

快速启动:约6分钟的启动预热时间,便于测量现场的快速使用。

长测量距离:长达20m的测量能力,满足大多数的测量要求。

5.产品特点2

高测量分辨率:可选的测量分辨率,最高1nm。

触发式测量:适合在待测机器移动时记录测量值,测量效率高。

多种国际分析标准供选择:方便用户选择自己需要的分析标准,进行多种分析。

6.核心组件(激光头)

激光的稳频,发射接收及相关后续处理;环境传感器数据的接收,上位机软件的交互

7.核心组件(环境传感器)

用于测量环境温度,材料温度,环境湿度及大气压力;测量得到的环境数据用于干涉仪的精密补偿。

8.核心组件(测量镜组)

1、线性镜组:用于进行线性测量的光学套件;

2、角度镜组:用于进行角度及旋转测量的光学套件。

来源:山涧果子
振动光学UM材料数控
著作权归作者所有,欢迎分享,未经许可,不得转载
首次发布时间:2025-01-21
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山涧果子
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