【电子洁净车间】千级洁净室CFD气流组织模拟

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电子洁净车间

千级洁净室CFD气流组织模拟

电子洁净车间是专门设计用于生产或处理对环境条件有着极高要求的电子产品的房间或设施。这类洁净车间的特点是在空气清洁度、温湿度控制、静电防护等方面有着严格的标准，以防止灰尘、化学蒸气、静电等污染物对敏感的电子元件造成损害。为了达到这样一个严格标准的车间，CFD气流组织模拟设计在电子洁净车间的设计和优化过程中起到了至关重要的作用。

CFD（计算流体动力学）是一种数值分析方法，用于预测流体流动、能量传递、传质以及其他相关物理行为。在电子洁净车间的设计中，CFD可以用来优化气流组织，显著提升洁净车间的整体性能，确保生产环境符合高标准的洁净度要求，同时也能提高能效，降低成本，并且保证工作人员的安全与健康。

几何物理模型介绍

风洞环境采用标准大气压；本项目采用KEpsilon湍流模型

参数名	数值
FFU（非满布）	流量15CMM
高架地板开孔率	20%
回风道孔板开孔率	50%

流场模拟情况

2.1 地板上方2m附近气流速度、

气流偏转角度分析

[地板上方2m附近气流速度云图＆气流偏转角度云图]

*速度分布图

*气流偏转角度图（注：蓝色为优，黄色为良，红色为差）

结论：

1、选取速度范围在0~0.5m/s内，回风道内的速度是远大于此区间内的速度，所有反应整体时选区0~0.5m/s的区间更能反应整个洁净室内部速度分布情况。

2、洁净室内整体速度范围在0~0.45m/s内。设备附近的速度约在0.2~0.4m/s。

2.2 设备附近气流情况

*速度分布图

*速度矢量图

结论：

气流沿着设备壁面往下流动，速度矢量图上可以看到设备上方区域出现一些小的涡流。也可明显看到气流水平流动情况。

结论

1、洁净室内设备附近区域速度分布较为良好。

2、气流偏转角度在0~40°的区域，气流较好，洁净室内大部分区域偏转角度在90°及以上，整体呈现出横流（水平流动）的情况。

公司介绍

中源广科，由南京大学数学博士张麟创办于苏州相城，坐落于苏州高铁新城，是一家专业打造国产自主CFD软件工具并提供气流组织模拟及微污染控制解决方案的高新技术企业。公司聚焦半导体行业，依托全球顶尖的CFD空气计算技术和经验，为客户提供气流组织整体解决方案，服务范围涵盖无尘车间、半导体生产线全过程颗粒物环境保障方案；帮助客户打造高洁净度的生产环境，优化气流组织结构，提升产品良率，降低系统能耗，以实现最高的生产效率。

中源广科，致力于成为中国半导体行业微污染控制的领军企业，实现中国CFD空气计算软件国产替代，并将中国半导体行业的微污染控制提升到国际先进水平而不懈努力。