基于双温模型模拟飞秒激光烧蚀过程
超短脉冲激光技术具有加工热效应小、尺寸小、精度高等优点,被广泛应用于材料加工及改性等领域。飞秒激光烧蚀是将功率密度较高的脉冲激光束照射到材料表面,使被照射的材料表面温度迅速升高,在非常短时间内使材料表面物质迅速熔化蒸发,实现对材料的烧蚀作用。飞秒激光烧蚀的物理过程也十分复杂,其中包含了材料中的光子与电子之间的能量耦合,电子通过电声耦合作用将激光能量传递给晶格等过程。由于飞秒激光和材料作用的时间极短,经典的热传导模型已不能准确描述飞秒激光和材料的作用过程。通过ANISIMOV等人[1]提出的双温模型可描述超短激光与材料作用过程。一维双温热传导模型的非线性方程[2-4]为: 式中, 和 分别为电子温度和晶格温度; 和 分别为电子热容和晶格热容; 表示热源; 为耦合系数。图1 几何模型 图2 参数设置 图3 电子和晶格的温度曲线 图4 电子温度随材料深度的变化 图5 晶格温度随材料深度的变化通过双温模型模拟了飞秒脉冲与金属材料的相互作用,研究了脉冲宽度为0.2ps下电子温度和晶格温度随时间以及材料深度的变化关系。参考文献:[1] Anisimov SI, Kapeliovich BL, Perelman TL, et al. Electron emission from metal surfaces exposed to ultrashort laser pulses. Sov Phys JETP, 1974(39):375-378.[2] Elsayed-Ali H E,Norris T B, Pessot M A, et al. Time resolved observation electron-phonon of relaxation in copper. Physical Review Letters 1987, 58(12):1212-1215.[3] Hu D Z. Numerical calculation of the electron phonon coupling relaxation time in pulse laser ablation. Acta Physica Sinica, 2009, 58(2):1077-1082.[4] Hu W Q, Shin YC, King G. Modeling of multi-burstmode pico-second laser ablation for improved materia removal rate. Applied Physics A,2009, 98(2)407-415.来源:旋算仿真工作室