超短脉冲激光技术具有加工热效应小、尺寸小、精度高等优点,被广泛应用于材料加工及改性等领域。飞秒激光烧蚀是将功率密度较高的脉冲激光束照射到材料表面,使被照射的材料表面温度迅速升高,在非常短时间内使材料表面物质迅速熔化蒸发,实现对材料的烧蚀作用。飞秒激光烧蚀的物理过程也十分复杂,其中包含了材料中的光子与电子之间的能量耦合,电子通过电声耦合作用将激光能量传递给晶格等过程。
由于飞秒激光和材料作用的时间极短,经典的热传导模型已不能准确描述飞秒激光和材料的作用过程。通过ANISIMOV等人[1]提出的双温模型可描述超短激光与材料作用过程。一维双温热传导模型的非线性方程[2-4]为:
图1 几何模型
图2 参数设置
图3 电子和晶格的温度曲线
图4 电子温度随材料深度的变化
图5 晶格温度随材料深度的变化
参考文献: