连续变倍扩束系统的设计指标如下
1 | 8×~16×连续变倍扩束 |
2 | 整个镜筒的长度为300mm |
3 | 入射口径2mm |
4 | 波长1053nm |
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1.多组态设计
在原先的基础上添加一个透镜作为优化项,添加位置位于前组和后组之间,为图1中的面4和面5。多组态利用多重组态,在12×定焦扩束镜组的基础上,增加2个组态。即设置扩束倍率为8×,12×,16×的三重组态。其参数设置如图1所示;
▲ 图1 多重组态相关参数设置
组态1(8倍扩束)的评价函数如图2所示,组态2(12倍扩束)的评价函数如图3所示,组态3(16倍扩束)的评价函数如图4所示,全局的评价函数采用默认评价函数,相关的设置分别如图4所示。评价函数编辑器中全局评价函数设置略。
▲ 图2 评价函数编辑器中组态1评价函数设置
▲ 图3 评价函数编辑器中组态2评价函数设置
▲ 图4 评价函数编辑器中组态3评价函数设置
▲ 图5 全局评价函数设置
2.优化及评估
变量和评价函数后执行局部优化,优化后的参数如图6所示,优化后的结构图如图7所示,优化后的单列图如图8所示。优化后的MTF传递函数图如图9所示。从点列图可以看出三个组态的点列图均位于艾利斑之内,说明优化的结果已经很好了,从MTF图可以看出其传递函数接近衍射极限,也说明优化的结果比较好了。
▲ 图6 优化后的参数
▲ 图7 优化后的结构图
▲ 图8 三种的点列图
▲ 图9 组态1的MTF图
去掉变量,只留下THIC3、THIC5、THIC8这3个变量如图10所示:
▲ 图10 只保留THIC3、THIC5、THIC8这3个变量
添加组态4-9,按步骤6所示改写评价函数,再次执行优化,优化后得到个组态的THIC3、THIC5、THIC8的参数如图13所示:
▲ 图11 优化后各组态THIC3、THIC5、THIC8参数
将如上参数绘制成图像方便观察其关系,得到如图12所示的关系图,从图中可以看出三个间隔的运动轨迹近似为直线,补偿关系比较简单,工艺性好。
▲ 图12 优化后各组态THIC3、THIC5、THIC8关系图
4. 设计总结
a. 输出光束的准直度达到
b. 弥散斑
c. 结构紧凑,从第1参考面到第2参考面的距离为300mm不变;
d. 变焦补偿关系比较简单,工艺性好。
因篇幅原因全局评价函数设置被省略了,需要评价函数的小伙伴请私信。