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Fluent仿真实例-表面化学反应半导体砷化镓GaAs的生成

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案例描述:

半导体砷化镓GaAs的生成,是利用一种化学气相沉积方法生成(chemical vapor deposition,CVD)。其反应装置如下:
Ga(CH3)3和AsH3从顶部入口处进入反应器,293K,0.02189 m/s。气体将会经过加热旋转的反应台Wall4,80 rad/sec,化学反应生成的镓固体和生成砷固体不断在反应台沉积,生成砷化镓。反应台不断旋转迫使气体层流运动流向出口。化学反应如下:

1、启动软件并导入网格

启动Fluent软件,选择3D版本,单核Serial求解,双精度Double Precision计算。
导入surface.msh网格文件,在文章末尾有下载。对网格进行缩放。    
显示网格如下。

2、模型设置

2.1 开启能量方程。    
2.2 启动物料输送和反应模型。在模型库中打开Species模型,设置如下。

3、材料设置
3.1  在Fluent的气体材料库中调出AsH3,Ga(CH3)3, CH3和 H2四种气体,英文名是arsenic-trihydride,hydrogen,methyl-radical和 trimethyl-gallium。分别点开这四种物料的属性,设置如下:    
3.2 新建物料,气体site species物料Ga_s 和 As_s,固体物料Ga和As。物性参数如下:    
3.3 创建混合物料。操作Materials –> mixture-template –> Create/Edit...    
点击打开上面Mixture Species右边的Edit按钮,设置Selected Species,Selected Site Species和 Selected Solid Species。操作举例说明,例如一开始打开此面板时候,ga_s是在Available Materials的选择框中,用鼠标单击选择ga_s,然后可以看到另外三个空白选择框下面的Add按钮都变成了可以选择状态。点击Selected Site Species下方的Add按钮,可以看到ga_s已经选进了此选择框中,这样就指定了ga_s为Site Species。物料的分配如下图所示。    
点击OK后,退出到上一级混合物性设置的面板,点击Reaction下拉菜单右边的Edit按钮,设置化学反应。
化学反应有2个,所以需要设置两个化学反应。第一个化学反应设置如下。    
当点击OK按钮后,将会推出到上一级的混合物料设置面板,再次点击Reaction下拉菜单右边的Edit按钮,添加第二个化学反应设置如下。第一步是先设置ID为2。    
当点击OK按钮后,将会推出到上一级的混合物料设置面板,点击Mechanism下拉菜单右边的Edit按钮,设置反应机理。    
当点击到Define按钮打开面板,设置如下。
设置好后退出到混合物料设置面板,设置Thermal Conductivity和Viscosity如下图,其余参数设置保持默认。    
到此,化学反应公式和机理到此已经输入到了Fluent中了。

4、边界设置

4.1 velocity-inlet边界。需要设置进口速度和进口物料。    
   
4.2 outlet边界设置,类型选择outflow。保留默认设置。
4.3 wall 1边界。    
4.4 wall 2边界。
   
4.5 wall 4边界。
   
   
4.6 wall 5边界。    
   
4.7 wall 6边界。    

5、操作条件设置。    

6、 求解设置

6.1 离散方案设置。速度-压力采用Coupled,Pressure采用Standard,其余采用二阶迎风。    
6.3 松弛因子。    
6.4 残差收敛标准,质量continuity和能量energy都设置为1e-6,其余保持默认。
6.5 初始化。    
6.5 输入迭代步数1000,点击Calculate开始计算。

7、后处理

7.1 计算到310步计算收敛,保持case和data文件。收敛残差曲线如下图。    
7.2 查看质量流量是否平衡,操作Reports →   Fluxes → Set Up...。可以看到,进出口和沉积面的质量是守恒的。
7.3 沉积面Wall 4上面的ga表面沉积率。    
7.4 沉积面Wall 4上面的ga_s表面沉积率。
   
其他的物性后处理,根据需求显示和统计即可。
  

来源:CFD饭圈
ACTFluentFlux化学半导体UM材料
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首次发布时间:2024-09-08
最近编辑:1月前
CFD饭圈
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粒子分辨率是SPH仿真中的“微观世界”,影响结果的关键力量

在科技与工程领域,光滑粒子动力学(Smoothed Particle Hydrodynamics, SPH)作为一种强大的数值模拟方法,以其独特的离散方式揭示着流体、固体等复杂物质的行为规律。然而,在SPH仿真的精度和可靠性背后,有一个关键因素扮演着举足轻重的角色——粒子分辨率。 粒子分辨率,简单来说,就是在SPH模拟中用来描述物理系统的粒子数量及其空间分布密度。它是决定仿真结果准确性和细致程度的重要参数。就好比在描绘一幅细腻的画卷时,画师手中的笔触越细密,画面就越逼真生动。同样地,对于SPH仿真而言,更高的粒子分辨率意味着更精细的空间信息刻画,能够更好地捕捉到物理现象的各种细节变化。 一、粒子分辨率的重要性 首先,粒子分辨率直接影响着模拟的物理量计算精度。在SPH算法中,每个粒子代表了所在区域内的物理属性,粒子间的相互作用通过内插函数来实现。粒子分辨率越高,颗粒之间的距离越小,从而使得局部场变量的变化更为连续和平滑,进而提高压力、速度、温度等物理量的计算精度。 其次,高粒子分辨率有助于提升边界条件的表现效果。在处理复杂的几何结构或者流动边界时,足够的粒子数量可以确保模型边界处的特性得以精确模拟,避免因粒子稀疏导致的边界模糊或失真问题。 再者,粒子分辨率对模拟结果的稳定性也有重要影响。低分辨率可能导致模拟过程中的噪音增大,稳定性降低,而适当提高粒子分辨率,则能有效减少这种不稳定性的发生,使得仿真过程更加稳健可靠。 捕捉微结构与小尺度现象。在处理包含复杂流体界面、湍流细节或材料内部微结构的仿真时,高粒子分辨率至关重要。它能够更准确地模拟出这些小尺度现象,例如涡旋结构的形成与演化,这对于理解流动特性及预测其对宏观行为的影响具有决定性作用。 时间步长的选择与稳定性。粒子分辨率与仿真的时间步长选择紧密相关。低分辨率可能导致由于时间步长过大引起的数值不稳定,而适当的粒子密度可以确保动态过程计算的稳定性,使得仿真结果随时间演变的过程更为合理和精确。 后期分析与可视化效果。在进行数据后处理及可视化时,高粒子分辨率带来的丰富信息量有助于产生更加清晰直观的图像和动画展示,便于科研人员深入理解和解释复杂的物理过程。 多尺度问题研究。对于涉及多个空间或时间尺度的问题,粒子分辨率是实现多尺度耦合模拟的关键因素之一。不同的尺度可能需要不同级别的粒子细化来捕捉各自特征,因此灵活调整粒子分辨率是解决这类问题的基础手段。 误差估计与收敛性检验。在进行精度评估时,通过改变粒子分辨率并比较不同分辨率下仿真结果的变化,可以量化模拟误差并判断模型是否达到收敛。这一过程对于验证SPH方法的有效性和优化算法参数设置极为关键。 然而,尽管高粒子分辨率带来诸多优势,但随之而来的是计算资源消耗的增加。因此,如何在满足仿真精度需求的同时,合理优化粒子分辨率,达到计算效率与结果质量的最佳平衡,是每位SPH工程师必须深入思考的问题。 综上所述,粒子分辨率作为SPH仿真中的核心要素,其选择与调整直接决定了模拟结果的质量与可信度。理解并掌握这一要素的重要性,无疑是每一位致力于SPH研究和应用的科研工作者必须修炼的基本功。 二、粒子分辨率独立性的验证 在Smoothed Particle Hydrodynamics (SPH) 方法中,粒子分辨率独立性指的是模拟结果的准确性不应过分依赖于所使用的粒子数量或粒子之间的空间间隔(即分辨率)。为了验证SPH模拟中的粒子分辨率独立性,通常需要执行以下步骤: 1.粒子分辨率研究:o选择一个具有已知解的标准问题或基准测试/实验案例。o对同一问题进行多次模拟,每次改变粒子的数量和/或粒子间距,从而改变系统的分辨率。o计算每个不同分辨率下流体动力学变量(如压力、速度等)的关键量,并比较这些量随分辨率变化的趋势。 2.误差分析:o使用高分辨率仿真作为参考解(如果存在),计算低分辨率仿真与之相比的相对误差或绝对误差。o理想情况下,随着粒子数目的增加,模拟结果应该逐渐收敛到理论值或者实验测量值。 3.可分辨特征尺寸:o验证是否可以正确捕捉到特定物理长度尺度的现象,例如涡旋的大小、流体界面的厚度等。o如果分辨率足够高,应能再现这些微结构特征;当分辨率降低时,这些特征可能会被模糊或忽略。 4.一致性检验:o在连续增加粒子数的过程中,检查关键物理量(比如能量守恒、动量守恒等)是否保持稳定或按照预期收敛。 通过上述过程,可以评估SPH方法对于不同分辨率的敏感性,确保模拟在一定的粒子密度范围内能够达到所需的精度水平。如果模拟结果显示对分辨率有较强的依赖性,则可能需要调整SPH算法参数(如平滑长度、核函数等)或者采用更高级的数值技术来改进算法的分辨率独立性。来源:CFD饭圈

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